تترا متیل آمونیوم چیست؟

تترا متیل آمونیوم هیدروکسید (TMAH)، یک ماده جامد به شکل هیدراته یا یک مایع بی رنگ با بوی قوی آمونیاک است که البته فرم تجاری آن به صورت محلول آبی می باشد. یک نوع باز آلی که در آب محلول است. موجب خوردگی فلزات و بافت ها می شود.

TMAH یک نمک آمونیوم است و به طور گسترده در ساخت های تجهیزات میکرو یا نانوالکترونیک به عنوان یک توسعه دهنده مورد استفاده قرار می گیرد. همچنین به عنوان ماده شیمیایی خالص و معرف، در صنایع استفاده می گردد.

هیدروکسید تترا متیل آمونیوم یک ماده کاملاً بازی است و در صورت تماس با پوست بسیار سمی است، هرکسی که در آزمایشگاه با ترکیبات حاوی TMAH کار می کند، باید خود را با داده های ایمنی آن آشنا کند و یک روش عملی استاندارد مشخص (SOP) ایجاد شود.

یکی از کاربردهای صنعتی TMAH برای حفر ناهمسانگرد سیلیکون است. این ماده به عنوان یک حلال بازی در فتوسنتز اسیدی در فرآیند فوتولیتوگرافی مورد استفاده قرار می گیرد.هیدروکسید تترا متیل آمونیوم برخی از خصوصیات کاتالیزور انتقال فاز را دارد و به عنوان سورفاکتانت در سنتز فروم فلوئید و مهار تجمع نانوذرات از آن استفاده می شود.

در حال حاضر TMAH به عنوان رایج ترین معرف در آنالیزهای ترموشیمی مورد استفاده قرار می گیرد، در این روش های آنالیز که تحلیلی هستند شامل هر دو روش تجزیه در اثر حرارت و مشتق شیمیایی آنالیت است.تترا متیل آمونیوم هیدروکسید متعلق به خانواده محلول های هیدروکسید آمونیوم کواترنر (QAH) است و معمولاً برای ناهمسانگردی اچ سیلیکون استفاده می شود.

درجه حرارت معمولی اچ بین 70 تا 90 درجه سانتی گراد و غلظت های معمولی 5 تا 25 درصد وزنی از TMAH در آب است. نرخ اچ سیلیکون به طور کلی با درجه حرارت و افزایش غلظت هیدروکسید تترا متیل آمونیوم افزایش می یابد.

با افزایش غلظت تترا متیل آمونیوم هیدروکسید، زبری سطح سیلیکون اچ شده کاهش می یابد، و می توان سطوح صاف را با محلول های 20 درصد TMAH به دست آورد. میزان اچ به طور معمول 0.1 میکرومتر در دقیقه است.