نحوه تولید تیتانیوم بوتوکساید

تیتانیوم بوتوکساید یک ترکیب شیمیایی آلی - فلزی به شکل مایعی بدون بو است، اگرچه نمونه های قدیمی تر آن زرد رنگ و بوی ضعیف الکلی دارند. این ماده در بسیاری از حلال های آلی محلول است.این ترکیب شیمیایی در آب واکنش داده و هیدرولیز می شود و دی اکسید تیتانیوم تشکیل می دهد، که اجازه می دهد پوشش های TiO2 با اشکال و اندازه های مختلف تا مقیاس نانو رسوب کنند.

سنتز لایه های نازک و افزودن عنصر پلاتین، پایداری ساختاری، پردازش میکروالکترونیک و خواص حسگر گازی، موضوع مقاله ای است که در سال 2008 منتشر گردیده است.بر اساس چکیده این کار، لایه های نازک دی اکسید تیتانیوم با پوشش چرخشی یک سل مشتق شده از بوتوکسید Ti بر روی ویفرهای سیلیکون اکسیده تهیه شده و پس از آن عملیات حرارتی در دمای 500 تا 800 درجه سانتیگراد انجام می شود.

ضخامت لایه پس از عملیات حرارتی در دمای 500 درجه سانتیگراد 50 نانومتر بوده است. علاوه بر آن، با افزودن محلول های استیل استات Pt (II) به محلول های TiO2، با یک نسبت اتمی Pt: Ti، فیلم های نازک توسط پراش اشعه X مورد بررسی قرار گرفت. اثبات اینکه Pt باعث تغییر ساختاری مرحله شروع آناتاز TiO2 به روتیل می شود، با یک اثر تقویت شده بیشتر با افزایش غلظت این عنصر و یا دمای عملیات حرارتی قابل آزمایش بوده است.

نانوکریستال های این لایه ها در حرارت 500 درجه سانتیگراد قادر به مقاومت در برابر یک توالی کامل پردازش میکروالکترونیکی، از جمله اچ خشک برای تعریف منطقه حساس به سنسورهای گازی، ایجاد تماس Ti / Pt و پردازش بخاری در پشت بسترهای سنسور بوده اند.

آزمون های سنجش گاز هیدروژن نشان داده اند که فاز آناتاز دی اکسید تیتانیم بسیار حساس تر از یک روتیل بوده است. وجود پلاتین بیشتر در ترکیب شامل تیتانیوم بوتوکساید باعث افزایش خواص حسگر گاز شده و دمای عملکرد سنسور را به حدود 330 درجه سانتیگراد کاهش می دهد و اجازه می دهد حداقل غلظت هیدروژن در حدود ppm 1000 شناسایی شود.