لایه های نازک رشد یافته LAO می توانند اهداف مختلفی را برای ساختارها و دستگاه های الکترون های همبسته ارائه دهند. LAO گاهی اوقات به عنوان عایق اپی تکسی بین دو لایه رسانا استفاده می شود.
فیلم های Epitaxial LAO را می توان با روش های مختلفی رشد داد که بیشتر آنها با رسوب لیزری پالسی (PLD) و اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) انجام می شود. مهم ترین و رایج ترین کاربرد LAO اپیتاکسیال در رابط تیتانات لانتانوم آلومینات-استرانسیوم می باشد.در سال 2004، مشخص شد که هنگامی که 4 یا بیشتر از سلول های LAO به صورت اپیتاکسیال روی استرانسیم تیتانات رشد می کنند، یک لایه رسانای دو بعدی در سطح مشترک آنها ایجاد می شود.
به طور جداگانه، LaAlO3 و SrTiO3 عایق های غیر مغناطیسی هستند، اما رابط های LaAlO3/SrTiO3 رسانای الکتریکی، ابررسانا، فرومغناطیس، مقاومت مغناطیسی منفی در صفحه، و نوری رسانایی بزرگ را نشان می دهند. مطالعه چگونگی ظهور این خواص در این رابط یک حوزه رو به رشد تحقیق در فیزیک ماده چگال است.
کریستال های تک لانتانیم آلومینات به صورت بستری برای رشد اپیتاکسیال پروسکایت ها و به ویژه برای ابررساناهای کاپرات به صورت تجاری در دسترس هستند. لایه های نازک آلومینات لانتانیم به عنوان مواد اولیه برای دی الکتریک های با k بالا در اوایل اواسط دهه 2000 در نظر گرفته شدند. علیرغم ثابت دی الکتریک نسبی جذاب 25 ~، آنها در تماس با سیلیکون در دمای مربوطه (° 1000 درجه سانتی گراد) به اندازه کافی پایدار نبوده اند.
محلول های پیش ساز حاوی گونه های محلول الیگومری فلز -هیدروکسیل و/یا اکسو هستند که توسط پراکندگی نور پویا (DLS) و طیف سنجی رامان مشهود هستند.در این کار تشکیل فیلم نازک به عنوان تابعی از دمای پخت با استفاده از مادون قرمز تبدیل فوریه (FTIR)، پراش اشعه ایکس (XRD)، بازتاب اشعه ایکس (XRR)، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) و مجموعه ای از اندازه گیری های الکتریکی مشخص شده اند.
دمای پخت بیشتر از 500 درجه سانتی گراد منجر به تشکیل فیلم های نازک با چگالی جریان نشتی پایین و ثابت های دی الکتریک از 11.0 تا 11.5 می شود. هنگامی که این ساختار به عنوان لایه دی الکتریک در ترانزیستورهای لایه نازک-IGZO (TFTs) گنجانده می شود، فیلم های نازک لانتانوم آلومینات که در 600 درجه سانتی گراد در هوا آنیل می شوند، TFT هایی با میانگین تحرک کم و ولتاژ بالا (V26 ولت) ایجاد می شوند.
|
|
|
|
| نماد اعتماد الکترونیک | نشان ملی ثبت | گواهی شامد ارشاد |
© کلیه حقوق مادی و معنوی این وب سایت متعلق به داده پردازان هومان پویان می باشد.
