در روش خشک یا حرارتی از فسفر عنصری به عنوان ماده اولیه استفاده می شود و از اسید تولید در روش تَر بسیار خالص تر و البته گران تر است. از اسید فسفریک تولید شده به روش خشک برای تهیه فسفات های سدیم، کلسیم، پتاسیم و آمونیوم استفاده می گردد. این روش شامل احتراق فسفر و هیدراسیون P4O10 می باشد. مخلوط فسفر مایع و هوا به محفظه احتراق که شبیه برج است تزریق شده و با انجام واکنش اکسیداسیون فسفر P4O10، تولید می شود.
جنس محفظه احتراق نوعی فولاد مخصوص است که با H3PO4 غیرفعال شده است. P4O10 به دست آمده را در برج بعدی هیدراته می کنند و بخارات باقی مانده P4O10 را واحد شستشو به اسید فسفریک رقیق تبدیل می کند. به علت وجود ترکیبات آرسنیک، اگر اسید به دست آمده در صنعت مواد غذایی استفاده شود، ناخالصی را با گاز H2S که از داخل محلول عبور می دهند، به صورت رسوب گرفته و بعد از صاف کردن اسید خالص را به دست می آورند.
فسفریک اسید صنعتی و خوراکی از تصفیه اسید خام به دست می آیند. اسید فسفریک خام معمولاٌ از واکنش شیمیایی اسید سولفوریک با خاک فسفات تولید شده و سپس در واحدهای تصفیه به اسید فسفریک صنعتی و خوراکی تبدیل می شود. اسید فسفریک خام در صنایع کودهای شیمیایی، اسید فسفریک صنعتی در صنایع فسفاته کننده ها و شوینده های صنعتی، چربی گیرها و رنگ برها، صنایع نساجی، تصفیه پساب ها، پاک کننده های صابونی و غیر صابونی و تولید ظروف تفلون به کار می رود.
اسید فسفریک خوراکی به طور عمده در تولید روغن نباتی، به عنوان ماده افزودنی در تولید نوشابه های گاز دار، تصفیه آب، خوراک دام و داروسازی و مکمل های غذای دام و طیور(دی و منو کلسیم فسفات) استفاده می شود. فسفریک اسید خوراکی را از افزودن آب به P2O5 و یا از سنگ فسفات دار در مجاورت اسید سولفوریک تهیه می کنند. اسید فسفریک، اسید ضعیفی است که در شرایط عادی و مدت زمان کوتاه آنقدر نمی تواند خطرساز باشد.